ISO 14644-3对洁净室高效过滤器泄露测试的要求

以下是对ISO 14644-3标准中洁净室高效过滤器泄露测试要求的详细说明：

1.测试目的

ISO 14644-3标准规定了高效过滤器泄露测试的主要目标：

· 确**滤效率：验证高效过滤器在安装后能够满足洁净室的设计要求。

· 检测泄漏点：检查过滤器是否存在泄漏，以保证洁净室的空气洁净度。

2. 测试方法

标准中提供了两种常用的测试方法：

· 扫描法：使用粒子计数器在过滤器表面进行扫描，检测是否存在泄漏点。

· 光度计法：通过光度计测量过滤器下游的粒子浓度，判断是否存在泄漏。

3. 测试标准

ISO 14644-3对测试的具体技术要求进行了明确规定：

· 泄漏定义：当过滤器下游的粒子浓度超过上游浓度的**0.01%**时，视为存在泄漏。

· 扫描速度：扫描速度应控制在5 cm/s至20 cm/s之间。

· 采样流量：测试仪器的采样流量应为28.3 L/min（1 cfm）。

4. 测试步骤

高效过滤器泄露测试需按照以下步骤进行：

· 准备工作：清洁过滤器表面，确保无灰尘、杂物等干扰因素。

· 仪器校准：对粒子计数器或光度计进行校准，确保测量准确。

· 上游浓度测量：在过滤器上游测量背景粒子浓度，作为参考值。

· 扫描测试：在过滤器表面进行扫描，记录下游粒子浓度的变化。

· 泄漏判断：根据测试数据，判断是否满足泄漏标准。

5. 验收标准

测试结果的判定基于以下标准：

· 无泄漏：下游粒子浓度不超过上游浓度的0.01%，表示过滤器性能合格。

· 有泄漏：下游粒子浓度超过上游浓度的0.01%，需对过滤器进行修复或更换。

6. 注意事项

为确保测试结果的可靠性和安全性，需注意以下事项：

· 测试应在洁净室正常运行状态下进行。

· 测试人员需穿戴符合洁净室要求的服装，避免引入污染。

· 测试过程中应避免对过滤器造成机械损伤。

7. 记录与报告

测试完成后，需进行详细记录并编制报告，内容包括：

· 测试的基本信息：日期、时间、测试人员、使用的仪器等。

· 测试数据：上游和下游粒子浓度、泄漏情况等。

· 测试报告：整理结果并提交给相关人员，用于验收或存档。

8. 定期测试

ISO 14644-3建议：

· 高效过滤器应每年至少进行一次泄露测试。

· 在过滤器更换或维修后，必须重新进行泄露测试，以验证性能。

9. 适用范围

ISO 14644-3标准适用于所有洁净室和相关受控环境。高效过滤器泄露测试是洁净室验收和日常维护的重要环节，确保空气质量符合设计要求。

10. 总结

ISO 14644-3对洁净室高效过滤器泄露测试的要求涵盖了测试目的、方法、技术标准、操作步骤、验收标准、注意事项、记录要求、测试频率以及适用范围。通过严格执行这些要求，可以确保高效过滤器的性能，保障洁净室的洁净度和运行可靠性。

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文章来源：网络文章

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